基板冷却装置、基板冷却方法、制御プログラム、コンピュータ読取可能な記憶媒体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-015251
公開番号（公開出願番号）：特開2007-200994
出願日： 2006年01月24日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】基板が大型であっても、スループットの向上を図りつつ、基板の歪みおよび破損を確実に防止することが可能な基板冷却装置を提供する。【解決手段】基板冷却装置25は、加熱後の基板Gを一方向に搬送する搬送路としてのコロ搬送機構5と、コロ搬送機構5によって搬送されている基板Gを冷却する冷却機構7とを具備し、冷却機構7は、コロ搬送機構5に沿って搬送方向上流側から順に予備冷却室65aと主冷却室65bとが配置されてなり、加熱後の基板Gを予備冷却部65aにおいて冷却して基板Gの粗熱とりを行った後、この基板Gを主冷却部65bにおいて所定の温度に冷却する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

加熱後の基板を冷却する基板冷却装置であって、加熱後の基板を一方向に搬送する搬送路と、前記搬送路を搬送されている基板を冷却する冷却機構とを具備し、前記冷却機構は、前記搬送路に沿って搬送方向上流側から順に予備冷却部と主冷却部とが配置されてなり、加熱後の基板を前記予備冷却部において冷却して基板の粗熱とりを行った後、この基板を前記主冷却部において所定の温度に冷却することを特徴とする基板冷却装置。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 567

Fターム (6件)：

5E339CF15 , 5E339EE02 , 5E339EE04 , 5E339EE10 , 5F046KA07 , 5F046KA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板冷却方法および基板冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-044867 出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (8件)

特開昭60-117626
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-162601 出願人：東京エレクトロン株式会社
ワークの電荷の消去中和装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-057765 出願人：株式会社オーク製作所

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