特許
J-GLOBAL ID：200903005710921714
感放射線組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173767
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024247
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 LSI、超LSI製造のフォトリソグラフィ技術に用いられる感放射線組成物において、高感度で高解像性であり、同一露光量で露光の際に密集ラインと孤立ラインが同時に規定の線幅通りに解像できる等、優れた感放射線組成物を提供する。【解決手段】 下記構造単位(I)を含む樹脂A、下記構造単位(II)を含む樹脂B、【化1】(ただし、R1、R2、R3、R7、R8、及びR9はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上4以下のアルキル基を表し、R4及びR5はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上10以下のアルキル基を表し、R6及びR10はそれぞれ独立に炭素数1以上10以下のアルキル基を表す。また、R4とR5あるいはR4とR6とが互いに結合して、炭素数3以上10以下の環を形成していてもよい。)及び放射線により酸を発生する化合物Cを含有してなる感放射線組成物において、樹脂Bの重量平均分子量が500〜4,000である感放射線組成物。
請求項（抜粋）：
下記構造単位(I)を含む樹脂A、下記構造単位(II)を含む樹脂B、【化1】(ただし、R1、R2、R3、R7、R8、及びR9はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上4以下のアルキル基を表し、R4及びR5はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上10以下のアルキル基を表し、R6及びR10はそれぞれ独立に炭素数1以上10以下のアルキル基を表す。また、R4とR5あるいはR4とR6とが互いに結合して、炭素数3以上10以下の環を形成していてもよい。)及び放射線により酸を発生する化合物Cを含有してなる感放射線組成物において、樹脂Bの重量平均分子量が500〜4,000であることを特徴とする感放射線組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/004 503
, C08K 5/00
, C08L 25/18
, C09D125/18
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
, C08F 8/00
G03F 7/004 503 A
, C08K 5/00
, C08L 25/18
, C09D125/18
, G03F 7/039 601
, C08F 8/00
, H01L 21/30 502 R
