特許
J-GLOBAL ID：200903059644071758

感放射線性組成物

発明者：
鈴木 正睦

鈴木 正睦 について

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桜井 明彦

桜井 明彦 について

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田辺 隆喜

田辺 隆喜 について

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勇元 喜次

勇元 喜次 について


出願人/特許権者：
日本合成ゴム株式会社

日本合成ゴム株式会社 について


代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-314061
公開番号（公開出願番号）：特開平9-160244
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 紫外線、遠紫外線、X線あるいは荷電子線の如き各種放射線に有効に感応し且つ解像度、パターン形状、PED安定性等の良好な化学増幅型ポジ型レジストとして有用な、感放射線性組成物を提供すること。【解決手段】 (A)酸により開裂し得るt-ブチル基を持つ置換基を有する化合物、(B)酸により分解し得るアセタール基またはケタール基を持つ置換基を有する化合物 および(C)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)酸により分解し得るt-ブチル基を持つ置換基を有する重合体、(B)酸により分解し得るアセタール基またはケタール基を有する重合体 および(C)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (15件)
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