特許
J-GLOBAL ID：200903005926119670

コンタクトプローブユニット

発明者：
風間 俊男

風間 俊男 について


出願人/特許権者：
日本発条株式会社

日本発条株式会社 について


代理人 (1件)： 大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-336428
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139513
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：
【要約】【課題】 コンタクトプローブユニットにおける交換や補修を容易にする。【解決手段】 支持体1に設けたホルダ孔2内に導電性針状体3及びコイルばね4を設け、コイルばね4と接触させる端子5aを有する配線板5にピン9を突設し、支持体に設けた貫通孔10とピントにより支持体を変位可能にし、導電性針状体をウェハ6の電極6aに接触させて検査を行う。【効果】 両者を接着材などで一体化しないで位置合わせすることができ、メンテナンス時に両者の分離が簡単であり、導電性接触子の交換や板状体の補修などを容易に行うことができる。
請求項（抜粋）：
被接触体に接触させる複数の導電性接触子を並列に配設した状態で支持するための支持体と、前記複数の導電性接触子と電気的に接続されるように前記支持体に重ね合わされた配線板とを有するコンタクトプローブユニットであって、前記支持体が、前記配線板と前記支持体のいずれか一方に突設されかつ他方に挿入されたピンにより変位可能にガイドされていることを特徴とするコンタクトプローブユニット。
IPC (5件)：
G01R 1/067 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (7件)：
G01R 1/067 C ,  G01R 1/06 D ,  G01R 1/073 D ,  G01R 31/26 J ,  G01R 31/26 H ,  H01L 21/66 H ,  H01L 21/66 B
Fターム (22件)：
2G003AA10 ,  2G003AC01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG08 ,  2G003AH04 ,  2G011AA09 ,  2G011AB01 ,  2G011AB04 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC05 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA60 ,  4M106DD04 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10 ,  4M106DD18
引用特許：
審査官引用 (6件)
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