特許
J-GLOBAL ID:200903005933936730

微小ボールをピックアップするための装置およびその制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 今井 彰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-208392
公開番号(公開出願番号):特開2007-294835
出願日: 2006年07月31日
公開日(公表日): 2007年11月08日
要約:
【課題】微小ボールを1個単位でピックアップできる装置を提供する。【解決手段】容器10は、複数の微小ボールBを溜めるための貯留空間S1と、この貯留空間S1の上で、複数の微小ボールBが浮遊可能な浮遊空間S2とを内部Sに含む。容器10は、浮遊空間S2に対して上方からアクセスするための開口12を含む。保持部20は、微小ボールBを1個単位で吸引保持可能な吸引口23を含む先端部20aを有する。保持部20は、容器10の開口12に先端部20aをセットすることにより、吸引口23が浮遊空間S2に面する。気体供給手段40は、容器10の内部Sに側方から気体を供給することにより、浮遊空間S2に複数の微小ボールBを浮遊させる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
少なくとも1つの微小ボールをピックアップするための保持部を有する装置であって、 複数の微小ボールを溜めるための貯留空間と、この貯留空間の上で、複数の微小ボールが浮遊可能な浮遊空間とを内部に含むための容器であって、さらに、前記浮遊空間に対して上方からアクセスするための開口を含む容器と、 前記容器の内部に側方から気体を供給することにより、前記浮遊空間に複数の微小ボールを浮遊させるための気体供給手段とをさらに有し、 前記保持部は、微小ボールを1個単位で吸引保持可能な吸引口を含む先端部を備え、前記開口に前記先端部をセットすることにより、前記吸引口が前記浮遊空間に面する、装置。
IPC (2件):
H01L 21/60 ,  H05K 3/34
FI (2件):
H01L21/92 604H ,  H05K3/34 505A
Fターム (5件):
5E319AA03 ,  5E319BB04 ,  5E319CD04 ,  5E319CD26 ,  5E319GG15
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 球状体貼付装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-394650   出願人:マルゴ工業株式会社
審査官引用 (5件)
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