発光装置及びその作製方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-175119
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114626
出願日： 2002年06月14日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】層間絶縁膜として適した有機樹脂材料は、水蒸気を透過し、水分を吸収しやすいという特性を持っている。一方、有機化合物層は、低分子系、高分子系によらず、酸素や水分に極めて弱く、すぐ劣化してしまうという欠点を有している。さらに発光素子の陽極もしくは陰極に、アルカリ金属もしくはアルカリ土類金属が用いられ、これらは酸素により酸化しやすい。すなわち水分は発光素子の劣化の要因となり、ダークスポット等の不良の原因となる。【解決手段】絶縁表面上に形成されたTFT上に、有機樹脂材料から成る層間絶縁膜が形成され、当該層間絶縁膜上に、一対の電極間に有機化合物から成る発光層が形成された発光素子が設けられ、前記層間絶縁膜と前記発光素子との間に、珪素と窒素とを主成分とする無機絶縁膜、或いはSP3結合を有し水素を含有する炭素膜が形成された発光装置を提供する。

請求項（抜粋）：

絶縁表面上に設けられた薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタ上に設けられた有機材料から成る層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に設けられ一対の電極間に発光層を有する発光素子と、前記層間絶縁膜と前記発光素子との間に珪素及び窒素を主成分とする無機絶縁膜とを有し、前記無機絶縁膜は、珪素の含有比率が25.0atomic%以上35.0atomic%以下であり、窒素の含有比率が35.0atomic%以上65.0atomic%以下であることを特徴とする発光装置。

IPC (8件)：

G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 , H01L 21/314 , H01L 21/318 , H01L 29/786 , H05B 33/10 , H05B 33/14 , H05B 33/22

FI (8件)：

G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 Z , H01L 21/314 A , H01L 21/318 B , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , H05B 33/22 Z , H01L 29/78 619 A

Fターム (79件)：

3K007AB08 , 3K007AB11 , 3K007AB12 , 3K007AB13 , 3K007FA01 , 5C094AA15 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094CA19 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094FB15 , 5F058BA04 , 5F058BA05 , 5F058BC08 , 5F058BC20 , 5F058BF15 , 5F058BF30 , 5F058BJ04 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD11 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE09 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE28 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF28 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG25 , 5F110GG31 , 5F110GG34 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL12 , 5F110HL23 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN28 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110PP01 , 5F110PP02 , 5F110PP03 , 5F110PP13 , 5F110PP34 , 5F110QQ11 , 5F110QQ24 , 5F110QQ25 , 5F110QQ28

引用特許：

審査官引用 (12件)

電気光学装置及びその作製方法並びに電子装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-166777 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
エレクトロルミネッセンス素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-127206 出願人：大日本印刷株式会社
自発光装置及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-047201 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

全件表示

前のページに戻る