露光装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-260270
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068630
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：

【要約】【課題】ランニングコストを低減し、回収気体を再利用しても信頼性の高い小型の回収装置を具備した実用性の高い露光装置を提供する。【解決手段】波長が300nm以下の露光光をマスク2に照明し、該マスク2のパターンを基板上に転写する露光装置において、前記露光光の光路の少なくとも一部に、高熱伝導率及び/又は高透過率を有する気体を供給する気体供給装置Bと、前記気体を回収するためのガス分離膜17を用いた気体回収装置Cとを具備し、該気体回収装置Cにより回収した気体の純度が99.95%以上、前記気体の回収率が50%以上であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

波長が300nm以下の露光光をマスクに照明し、該マスクのパターンを基板上に転写する露光装置において、前記露光光の光路の少なくとも一部に、高熱伝導率及び/又は高透過率を有する気体を供給する気体供給装置と、前記気体を回収するためのガス分離膜を用いた気体回収装置とを具備し、該気体回収装置により回収した気体の純度が99.5%以上、前記気体の回収率が50%以上であることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B01D 53/22 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

B01D 53/22 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 514 E , H01L 21/30 516 F

Fターム (23件)：

4D006GA41 , 4D006JA63A , 4D006KA12 , 4D006KA16 , 4D006KA67 , 4D006KA68 , 4D006KB12 , 4D006KE01Q , 4D006KE06Q , 4D006KE06R , 4D006MB03 , 4D006PA01 , 4D006PB20 , 4D006PB62 , 4D006PB63 , 4D006PB70 , 4D006PC01 , 4D006PC80 , 5F046AA17 , 5F046AA22 , 5F046BA04 , 5F046CA07 , 5F046DA27

引用特許：

審査官引用 (18件)

露光装置及びデバイス製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-324901 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-126522
特開平1-266831

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