特許
J-GLOBAL ID：200903006176758230
レーザ走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-199660
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026643
出願日： 2006年07月21日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】焦点位置を移動させる補正を行っても比較的広い焦点移動範囲で収差の補正を同時に精度良く行うことができること。【解決手段】レーザ光を発生する光源10と、光源10からのレーザ光を標本20上に集光させる対物レンズ19と、光源10からのレーザ光を直交する2つの方向に走査するスキャナ16と、標本20上の集光位置からの光を共焦点検出する共焦点ピンホール23と、共焦点ピンホール23を通過した光を検出するフォトマル24と、を有したレーザ走査型顕微鏡であって、反射面の変形可能範囲が凹面状態であり該反射面の初期反射面形状が前記変形可能範囲のほぼ中間位置に設定され、対物レンズ19を経由する光の収差補正および/または焦点移動を行う可変ミラー14と、フォトマル24の検出結果をもとに、可変ミラー14の形状を前記変形可能範囲内で変形させる制御部25とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザ光を発生する光源と、
前記光源からのレーザ光を標本上に集光させる対物レンズと、
前記光源からのレーザ光を二次元的に走査するスキャナと、
前記標本上の集光位置からの光を共焦点検出する共焦点開口と、
前記共焦点開口を通過した光を検出する光検出器と、
を有したレーザ走査型顕微鏡であって、
反射面の変形可能範囲が凹面状態であり該反射面の初期反射面形状が前記変形可能範囲のほぼ中間位置に設定され、前記対物レンズを経由する光の収差補正および/または焦点移動を行う初期凹面可変ミラーと、
前記光検出器の検出結果をもとに、前記初期凹面可変ミラーの形状を前記変形可能範囲内で変形させる制御手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02B21/00
, G02B7/11 J
, G02B7/11 N
2H051AA11
, 2H051CB02
, 2H051CB06
, 2H051CB12
, 2H051CB14
, 2H051CD12
, 2H052AA07
, 2H052AA08
, 2H052AB06
, 2H052AB21
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AD06
, 2H052AD35
, 2H052AF06
, 2H052BA02
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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