特許
J-GLOBAL ID:200903049162153247

走査型光学顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 韮澤 弘 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  米澤 明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-108803
公開番号(公開出願番号):特開2005-292538
出願日: 2004年04月01日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】 物体に集光する光軸方向の位置を変更しても結像性能の劣化が少ない波面変換素子を用いた走査型光学顕微鏡。【解決手段】 光源11から発する照明光に任意の波面変換を与える波面変換素子2と、波面変換素子2を制御する制御装置61と、波面変換素子2から発する波面変換後の照明光を互いに直交する方向に走査する光束走査手段3と、光束走査手段3によって進行方向を変えた照明光を物体に集光する対物レンズ4と、物体Oから発する信号光を検出する検出器53とを備えた走査型光学顕微鏡であって、制御装置61は、照明光の集光位置を変更するのに必要な波面変換素子2を変調するための制御データを備えており、その制御データに基づいて波面変換素子2を変調して照明光の集光位置を変更する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と、前記光源から発する照明光に任意の波面変換を与える波面変換素子と、前記波面変換素子を制御する制御装置と、前記波面変換素子から発する波面変換後の照明光を互いに直交する方向に走査する光束走査手段と、前記光束走査手段によって進行方向を変えた照明光を物体に集光する対物レンズと、前記物体から発する信号光を検出する検出器とを備えた走査型光学顕微鏡において、 前記制御装置は、照明光の集光位置を変更するのに必要な前記波面変換素子を変調するための制御データを備えており、その制御データに基づいて前記波面変換素子を変調して照明光の集光位置を変更することを特徴とする走査型光学顕微鏡。
IPC (2件):
G02B21/06 ,  G02B26/06
FI (2件):
G02B21/06 ,  G02B26/06
Fターム (14件):
2H041AA23 ,  2H041AB14 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H052AA07 ,  2H052AB01 ,  2H052AB06 ,  2H052AC07 ,  2H052AC15 ,  2H052AC29 ,  2H052AC34 ,  2H052AF25 ,  2H052BA02 ,  2H052BA03
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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