特許
J-GLOBAL ID：200903006309764734

平坦度測定方法及びその装置

発明者：
森本 勉

森本 勉 について

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橋爪 英久

橋爪 英久 について

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山本 雄治

山本 雄治 について

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平尾 祐司

平尾 祐司 について

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今西 顕史

今西 顕史 について

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綱木 英俊

綱木 英俊 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264181
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075147
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：
【要約】【課題】 変位計による1次元の走査をより多くの方向から行って被測定物表面の正確な平坦度の精度を行え,被測定物の下面の平坦度も測定できること。【解決手段】3つのうち2つの支持点A,Bを,上から見て走査線(Y軸)と平行な直線上,かつ原点Oからの距離を等しく,かつ走査線とOA,OBとのなす角度を(180/N)°,(180-180/N)°(N=3以上の整数)とし,被測定物1を原点Oを中心に(180/N)°分ずつ回転させてN回測定することにより,各走査線が他の走査線の測定時に支持点A,Bで支持される被支持点を通るようにする。さらに,各被支持点における真の表面高さと,測定値と,該測定値と真の表面高さとの差(要補正値)との関係式,各走査線上の被支持点の要補正値と,該走査線の平行線上の被支持点の真の表面高さと,支持点A,Bの高さ差との関係式に基づき表面高さの分布を求める。
請求項（抜粋）：
被測定物を異なる3つの支持点で支持し,変位計による1次元の走査を,前記被測定物の測定表面に略垂直な方向から見た複数の異なる走査線に沿って行うことにより,前記被測定物の表面高さの分布を測定し,該測定により得た測定値に基づいて前記被測定物の表面の平坦度を測定する平坦度測定方法において,前記3つの支持点のうち所定の2つの支持点を,前記被測定物の測定表面に略垂直な方向から見て前記走査線と平行な直線上に配置し,前記各走査線が,他の前記走査線に沿った前記走査の際に前記2つの支持点のいずれかにより支持される点に対応する前記被測定物の測定表面上の被支持点を通るようにし,前記変位計による前記測定を少なくとも3以上の異なる前記走査線に沿って行い,前記各被支持点における真の表面高さと,前記測定値と,該測定値と前記真の表面高さとの差を表す要補正値との関係を表す式と,前記各走査線上の前記被支持点における前記要補正値と,前記被測定物の測定表面の略垂直な方向から見て前記各走査線に平行な線上の前記被支持点における前記真の表面高さと,前記2つの支持点の高さの差との関係を表す式とに,前記測定値を適用することにより前記平坦度を測定する平坦度測定方法
IPC (2件)：
G01B 21/30 101 ,  G01B 21/00
FI (2件)：
G01B 21/30 101 F ,  G01B 21/00 L
Fターム (17件)：
2F069AA42 ,  2F069AA54 ,  2F069BB15 ,  2F069CC06 ,  2F069EE23 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG12 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ06 ,  2F069MM02 ,  2F069MM23 ,  2F069NN17 ,  2F069PP02
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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