特許
J-GLOBAL ID：200903006689824815

感光性樹脂組成物

発明者：
田原修二

田原修二 について

, 
船木克彦

船木克彦 について


出願人/特許権者：
三井化学株式会社

三井化学株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-134776
公開番号（公開出願番号）：特開2004-341058
出願日： 2003年05月13日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【解決課題】水酸化ナトリウム水溶液,炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で現像でき、低エネルギー露光によりファインな画像形成が可能で、現像後の熱処理によるイミド化後の皮膜特性として、優れた耐熱性、導体との接着性、電気特性等を発現するポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】式(1)で表される反復単位を含む重合体(A)、酸発生化合物(B)及び溶剤(C)を必須成分として含有してなる感光性樹脂組成物。【化1】R3は式(2)で表される有機基を表し、1〜100の正数を表す。)【化2】【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
一般式(1)で表される反復単位を含む重合体(A)、酸発生化合物(B)及び溶剤(C)を必須成分として含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/037 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004
FI (3件)：
G03F7/037 501 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 512
Fターム (37件)：
2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA19 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043RA06 ,  4J043SA06 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA262 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB161 ,  4J043YB06 ,  4J043YB07 ,  4J043YB19 ,  4J043YB21 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA33 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB22
引用特許：
審査官引用 (9件)
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