特許
J-GLOBAL ID：200903007123699319

容量式湿度センサ

発明者：
板倉 敏和

板倉 敏和 について

, 
与倉 久則

与倉 久則 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 矢作 和行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-054664
公開番号（公開出願番号）：特開2005-241576
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】複数系統の雰囲気を同時計測することが可能で、小型化された安価な容量式湿度センサを提供する。【解決手段】湿度によってその容量が変化する湿度センサ素子10a,10bと、湿度によってその容量が変化しないか、又は、湿度によってその容量の変化が湿度センサ素子よりも少ない基準容量素子20a,20bと、湿度センサ素子10a,10bおよび基準容量素子20a,20bの容量差を電圧に変換するCV変換回路30とを有する容量式湿度センサ101であって、湿度センサ素子10a,10b、基準容量素子20a,20bおよびCV変換回路30が、同じ半導体基板1の一方の面側に形成され、湿度センサ素子10a,10bが複数個である容量式湿度センサ101とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
湿度によってその容量が変化する湿度センサ素子と、湿度によってその容量の変化が前記湿度センサ素子よりも少ない基準容量素子と、前記湿度センサ素子および基準容量素子の容量差を電圧に変換するCV変換回路とを有する容量式湿度センサであって、 前記湿度センサ素子、基準容量素子およびCV変換回路が、同じ半導体基板の一方の面側に形成され、 前記湿度センサ素子が、複数個であることを特徴とする容量式湿度センサ。
IPC (1件)：
G01N27/22
FI (1件)：
G01N27/22 A
Fターム (9件)：
2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AF10 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10 ,  2G060BA09 ,  2G060BB08 ,  2G060HC10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
  • 絶対湿度センサ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-544014   出願人：エルジーエレクトロニクスインコーポレーテッド
  • 特公平8-023542
  • 容量式湿度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-182032   出願人：株式会社デンソー
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