特許
J-GLOBAL ID：200903007221202872
非破壊検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
, 池田 成人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-251509
公開番号（公開出願番号）：特開2004-093211
出願日： 2002年08月29日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】試料の欠陥の種類を判別できる非破壊検査装置を提供する。【解決手段】この発明の非破壊検査装置1は、レーザ光源10、照射光学系12、XYθステージ14、SQUID磁束計16、制御・画像処理装置18、および表示装置20を有している。照射光学系12には、光スキャナ122が含まれている。照射光学系は、レーザビームをウェーハ5に照射する。このレーザビームによってウェーハが走査される。SQUID磁束計は、レーザ光の照射により誘起された磁場を検出する。制御・画像処理装置は、磁束計によって取得された磁場分布データから良品の磁場分布データを減算し、差分データを生成する。差分データを正の第1しきい値および負の第2しきい値と比較することにより、欠陥の有無が判定される。二つのしきい値を使用するので、2種類の欠陥を判別できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料に設けられた所定の構造の欠陥を検出する非破壊検査装置であって、
前記試料にレーザ光を照射する照射手段と、
前記試料上における前記レーザ光の照射位置を移動させて前記試料を走査する走査手段と、
前記試料の走査によって発生する磁場を検出し、磁場分布データを取得する磁場検出手段と、
前記磁場分布データおよび所定の標準分布データの一方から他方を減算して差分データを生成する減算手段と、
前記差分データを正の第1しきい値および負の第2しきい値と比較する比較手段と、
前記レーザ光の一つの照射位置に対応する前記差分データが前記第1しきい値以上のとき、当該照射位置に第1の種類の欠陥が存在すると判定し、前記レーザ光の一つの照射位置に対応する前記差分データが前記第2しきい値以下のとき、当該照射位置に第2の種類の欠陥が存在すると判定する判定手段と、
を備える非破壊検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2G053AA11
, 2G053AA30
, 2G053AB01
, 2G053BA02
, 2G053BA15
, 2G053BB05
, 2G053CA10
, 2G053CA20
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CB30
, 4M106DH01
, 4M106DH12
, 4M106DH32
, 4M106DH50
, 4M106DJ02
, 4M106DJ07
, 4M106DJ11
, 4M106DJ14
, 4M106DJ20
