特許
J-GLOBAL ID：200903007246424250
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-354762
公開番号（公開出願番号）：特開2001-175002
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】高い汎用性を実現すると共により簡単な構成でかつ高速化を実現し得る露光装置を提供する。【解決手段】露光用の照明光を照射する光源5と、設計回路パターンに基づくコードデータに従って光源による照明光の空間強度分布を変調する手段(LCD6)と、空間強度分布が変調された照明光を投影するための光学系(投影光学系8)とを含んで構成される複数の露光ユニット3と、設計基板の配置に基づくコードデータに従って個々の露光ユニットを適正に配置する手段(水平位置調整機構4)と、設計回路パターンのコードデータに対しこのコードデータにより形成されるパターン像が露光面において適正となるように投影されるよう補正処理を行なう手段(パターンコード補正回路2d)とを具備して構成する。
請求項（抜粋）：
露光用の照明光を照射する光源と、設計回路パターンに基づくコードデータに従って上記光源による照明光の空間強度分布を変調する手段と、空間強度分布が変調された照明光を投影するための光学系とを含んで構成される複数の露光ユニットと、設計基板の配置に基づくコードデータに従って個々の上記露光ユニットを適正に配置する手段と、設計回路パターンのコードデータに対し、このコードデータにより形成されるパターン像が露光面において適正となるように投影されるよう補正処理を行なう手段と、を具備して構成されることを特徴とする露光装置。
Fターム (3件)：
2H097BB01
, 2H097EA11
, 2H097LA09
