特許
J-GLOBAL ID：200903007793651333
欠陥検査装置、欠陥検査プログラム、図形描画装置および図形描画システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-276775
公開番号（公開出願番号）：特開2008-277730
出願日： 2007年10月24日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】簡易な構成で、図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を描画の実行前に検出することができる技術を提供する。【解決手段】入力CADデータD1と、当該入力CADデータD1をRIP処理することによって取得されたランレングスデータD2とをそれぞれ取得する。そして、入力CADデータD1とランレングスデータD2とのうちの少なくとも一方のデータに対して所定の変換処理を実行して互いに比較可能なデータ形式に揃えた上で、両データを比較し、差異がある領域をランレングスデータD2における欠陥領域として検出する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
前記入力データがRIP処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 529
, H01L21/30 519
, G03F7/20 501
2H097AA03
, 2H097CA17
, 2H097GB04
, 2H097LA10
, 2H097LA11
, 5F046BA06
, 5F046BA07
出願人引用 (2件)
審査官引用 (11件)
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