深紫外線センサー

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-256880
公開番号（公開出願番号）：特開2004-095958
出願日： 2002年09月02日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】従来技術では素子単体で225nm以下の波長の紫外線にのみ感度を持つセンサーは大型のものか、ダイヤモンドに高電圧を印加して動作するものしかなかった。【構成】リンをドープしたn型ダイヤモンドをn型層に用いたpn接合による225nm以下の波長の紫外線を検知する深紫外線センサー。これは200nmの波長における検出感度(I200)と250nmにおける検出感度(I250)の比(I200/I250)が100以上である。リンをドープしたn型ダイヤモンドをn型層に用いたpin接合による225nm以下の波長の紫外線を検知する深紫外線センサー。これは200nmの波長における検出感度(I200)と250nmにおける検出感度(I250)の比(I200/I250)が1000以上である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

リンをドープしたn型ダイヤモンドをn型層に用いたpn接合による225nm以下の波長の紫外線を検知する深紫外線センサー。

IPC (1件)：

H01L31/10

FI (1件)：

H01L31/10 A

Fターム (11件)：

5F049MA02 , 5F049MA04 , 5F049MB02 , 5F049MB11 , 5F049NA10 , 5F049NA20 , 5F049NB07 , 5F049PA03 , 5F049SS03 , 5F049SS09 , 5F049WA05

引用特許：

審査官引用 (11件)

ダイヤモンドpn接合ダイオードおよびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-244883 出願人：工業技術院長, 科学技術振興事業団
ダイヤモンド紫外光発光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-368095 出願人：独立行政法人物質・材料研究機構
紫外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-081750 出願人：大阪瓦斯株式会社

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