超純水供給設備

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-209906
公開番号（公開出願番号）：特開2004-050019
出願日： 2002年07月18日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】ユースポイントへ不純物濃度の著しく低い超純水を供給することができる超純水供給設備を提供する。【解決手段】原水(市水)を前処理装置10、1次純水製造装置20、2次純水製造装置40、超純水供給配管系60を介して供給する超純水供給設備において、超純水供給配管系60の配管及び各機器における1〜100ヘルツの振動を5ガル以下とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも前処理装置、1次純水製造装置、及び2次純水製造装置を有する超純水製造装置と、該超純水製造装置で製造された超純水を使用点に供給するための超純水供給配管系とを備えた超純水供給設備において、該超純水供給配管系にあっては、該超純水供給配管系を構成する回転機器以外の機器および部材の1〜100ヘルツの振動が5ガル以下であることを特徴とする超純水供給設備。

IPC (4件)：

C02F1/00 , B01D19/00 , B01D61/00 , C02F1/20

FI (5件)：

C02F1/00 B , C02F1/00 U , B01D19/00 H , B01D61/00 , C02F1/20 A

Fターム (20件)：

4D006GA32 , 4D006KA01 , 4D006KA52 , 4D006KA72 , 4D006KB11 , 4D006KB12 , 4D006KB30 , 4D006PC03 , 4D006PC04 , 4D011AA17 , 4D011AD01 , 4D011AD03 , 4D037AA03 , 4D037AB11 , 4D037AB12 , 4D037AB18 , 4D037BA23 , 4D037CA01 , 4D037CA11 , 4D037CA15

引用特許：

審査官引用 (12件)

超純水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-070511 出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社
超純水製造システムにおける逆浸透膜分離装置の運転方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-182097 出願人：日東電工株式会社
特開平4-338221

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