ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065898
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357898
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ硬化後の皮膜特性として優れた機械特性、接着性、吸水性を有する高感度のポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、フィラー(C)の含有量Fが2〜70重量%、有機ケイ素化合物(D)1〜40重量部からなるポジ型感光性組成物である。また、上記の配合にフェノール化合物を含むポジ型感光性組成物である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、フィラー(C)の含有量F(下記式)が2〜70重量%、有機ケイ素化合物(D)1〜40重量部からなることを特徴とするポジ型感光性組成物。F=フィラー(g)/(アルカリ可溶性樹脂(g)+フィラー(g))

IPC (6件)：

G03F 7/022 , C08G 69/26 , G03F 7/004 501 , G03F 7/037 , G03F 7/075 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/022 , C08G 69/26 , G03F 7/004 501 , G03F 7/037 , G03F 7/075 , H01L 21/30 502 R

Fターム (35件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BA03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB42 , 2H025CB45 , 2H025CC08 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J001DA01 , 4J001DB01 , 4J001DB05 , 4J001DC10 , 4J001DC14 , 4J001EB34 , 4J001EB44 , 4J001EB57 , 4J001EB58 , 4J001EB60 , 4J001EC54 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC70 , 4J001EC81 , 4J001FB03 , 4J001FC06 , 4J001FD01 , 4J001JA20

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-117391 出願人：住友ベークライト株式会社
感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-126201 出願人：株式会社関西新技術研究所
特開昭56-060432

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