特許
J-GLOBAL ID：200903048044762852

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者：
堀井 誠

堀井 誠 について

, 
平野 孝

平野 孝 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065898
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357898
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ硬化後の皮膜特性として優れた機械特性、接着性、吸水性を有する高感度のポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、フィラー(C)の含有量Fが2〜70重量%、有機ケイ素化合物(D)1〜40重量部からなるポジ型感光性組成物である。また、上記の配合にフェノール化合物を含むポジ型感光性組成物である。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、フィラー(C)の含有量F(下記式)が2〜70重量%、有機ケイ素化合物(D)1〜40重量部からなることを特徴とするポジ型感光性組成物。F=フィラー(g)/(アルカリ可溶性樹脂(g)+フィラー(g))
IPC (6件)：
G03F 7/022 ,  C08G 69/26 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F 7/022 ,  C08G 69/26 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (35件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BA03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB42 ,  2H025CB45 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J001DA01 ,  4J001DB01 ,  4J001DB05 ,  4J001DC10 ,  4J001DC14 ,  4J001EB34 ,  4J001EB44 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB60 ,  4J001EC54 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC70 ,  4J001EC81 ,  4J001FB03 ,  4J001FC06 ,  4J001FD01 ,  4J001JA20
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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