特許
J-GLOBAL ID：200903018422026047
圧電体素子及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044493
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237468
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 耐電圧特性に優れた新たな構造を有する圧電体膜を備えた圧電体素子を提供し、このような圧電体膜の製造方法、特に厚膜化を可能とする製造方法を提供する。【解決手段】 圧電体膜41と、下部電極32および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、複数の結晶層41a、41bを膜厚方向に積層してなり、各結晶層内には、結晶粒間の結合の弱い境界面が膜厚方向に延在し、ある結晶層内における前記結合の弱い境界面とこれに隣接する結晶層内における前記結合の弱い境界面とが不連続に形成されたものである。この圧電体素子は、前記下部電極32上に有機金属化合物を含む圧電体前駆体膜を成膜し、これに水熱処理を行う工程を複数回実行し、これによって形成された複数層の圧電体膜上に前記上部電極を積層させることによって得られる。
請求項（抜粋）：
圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される下部電極および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、複数の結晶層を膜厚方向に積層してなり、各結晶層は、複数の結晶粒を備え、各結晶層内には、結晶粒間の結合の弱い境界面が膜厚方向に延在し、ある結晶層内における前記結合の弱い境界面とこれに隣接する結晶層内における前記結合の弱い境界面とが不連続に形成された、圧電体素子。
IPC (3件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 U
2C057AF67
, 2C057AF93
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AG49
, 2C057AP02
, 2C057AP15
, 2C057AP57
, 2C057BA04
, 2C057BA14
