特許
J-GLOBAL ID：200903008484601417

圧力センサ及びその製造方法

発明者：
植屋 夕輝

植屋 夕輝 について


出願人/特許権者：
ヤマハ株式会社

ヤマハ株式会社 について


代理人 (2件)： 服部 雅紀 ,  南島 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-196578
公開番号（公開出願番号）：特開2008-028512
出願日： 2006年07月19日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】低域特性及び高域特性の高い圧力センサを提供する。【解決手段】コンデンサマイクロホン1の感音部は、基板10及び第一膜〜第四膜からなる積層構造を有している。ダイアフラム20及びプレート22を支持している支持体24は、主気室41と、流路43を経由して主気室41に連通する副気室42とからなる背部気室40を形成する。主気室41はダイアフラム20と第二膜の開口14と基板10の穴部11とプリント基板60との内側に形成される。副気室42は基板10の凹部12とプリント基板60との内側に形成される。流路43は基板10の凹部13とプリント基板60との内側に形成される。周波数の高い音波によってダイアフラム20が振動するとき、背部気室40の実質的な容量は主気室41の容量となる。一方、周波数の低い音波によってダイアフラム20が振動するとき、背部気室40の実質的な容量は主気室41及び副気室42の容量の和となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
固定電極を有するプレートと、 前記固定電極に対向する可動電極を有し、圧力変化によって変位するダイアフラムと、 前記プレートの端部が固定されている内壁と前記ダイアフラムとの内側に、主気室を形成する支持体と、 前記主気室に開口する流路と前記流路を経由して前記主気室に連通する副気室とを形成する副気室形成部と、 を備える圧力センサ。
IPC (4件)：
H04R 19/04 ,  G01H 11/06 ,  H04R 31/00 ,  H01L 29/84
FI (4件)：
H04R19/04 ,  G01H11/06 ,  H04R31/00 C ,  H01L29/84 Z
Fターム (20件)：
2G064AB14 ,  2G064BA07 ,  2G064BA08 ,  2G064BD05 ,  2G064BD53 ,  4M112AA06 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA11 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20 ,  5D021CC07 ,  5D021CC20
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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