特許
J-GLOBAL ID：200903090421742990

容器及びそれを使って基板を搬送する方法

発明者：
松本 健

松本 健 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-193084
公開番号（公開出願番号）：特開2007-012942
出願日： 2005年06月30日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】マスクやウェハ等の基板を異物から保護しながら搬送するとともに搬送後における基板の利用を容易にする。【解決手段】容器300は、マスクやウェハ等の基板71を吸着して保持するチャック310と、チャック310とともに保管空間108を形成するカバー320とを備える。基板71は、チャック310にカバー320が装着された状態において保管空間108内に保持されて搬送される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板を収容する容器であって、 前記基板を吸着して保持するチャックと、 前記チャックとともに保管空間を形成するカバーと、 を備え、前記基板は、前記チャックに前記カバーが装着された状態において前記保管空間内に保持されることを特徴とする容器。
IPC (3件)：
H01L 21/673 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
H01L21/68 T ,  G03F1/14 M ,  H01L21/30 503E
Fターム (50件)：
2H095BA01 ,  2H095BA06 ,  2H095BB29 ,  2H095BB30 ,  2H095BE11 ,  2H095BE12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031DA12 ,  5F031DA17 ,  5F031EA11 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031FA20 ,  5F031GA05 ,  5F031GA08 ,  5F031GA10 ,  5F031GA12 ,  5F031GA38 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031HA46 ,  5F031HA53 ,  5F031JA27 ,  5F031JA38 ,  5F031KA03 ,  5F031KA10 ,  5F031KA20 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F031NA10 ,  5F031NA13 ,  5F031NA17 ,  5F031PA23 ,  5F046AA21 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02
引用特許：
出願人引用 (17件)
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審査官引用 (14件)
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