特許
J-GLOBAL ID：200903034224055568
ペリクル用収納容器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
アイアット国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-233018
公開番号（公開出願番号）：特開2007-047546
出願日： 2005年08月11日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：
【課題】 収納するペリクルの支持枠の粘着材に変形をもたらさないで輸送する。 【解決手段】 ペリクル膜6と当該ペリクル膜6を支持する支持枠7とからなるペリクル5を輸送するためのペリクル用収納容器1であって、トレイ3とその蓋となるカバー2と、トレイ3およびカバー2のいずれか一方の内側に、支持枠7を載置する載置部4であって支持枠7を載置する部位が支持枠7の底面に対して傾斜している1つまたは2以上の載置部4とを備えるペリクル用収納容器1としている。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
トレイと
その蓋となるカバーと、
上記トレイおよび上記カバーのいずれか一方の内側に、上記支持枠を載置する載置部であって上記支持枠を載置する部位が上記支持枠の底面に対して傾斜している1つまたは2以上の載置部と、
を備えることを特徴とするペリクル用収納容器。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F1/14 M
, G03F1/14 J
, B65D85/38 R
2H095BB29
, 2H095BC31
, 2H095BE12
, 3E096AA01
, 3E096BA08
, 3E096BB03
, 3E096CA06
, 3E096CB03
, 3E096CC02
, 3E096DA25
, 3E096DA30
, 3E096DB01
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096FA20
, 3E096FA40
, 3E096GA05
, 3E096GA13
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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