特許
J-GLOBAL ID：200903009271386217

表面検査装置

発明者：
磯崎 久

磯崎 久 について

, 
吉川 浩

吉川 浩 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047949
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235429
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 小さな異物から大きな異物まで測定できる、広いダイナミックレンジを有する表面検査装置を提供する。【解決手段】 表面検査装置が、第1光束と第2光束を発する光源部と、第1光束および第2光束を互いに異なる照射角度により被検査物の表面に照射する第1照射光学系および第2照射光学系と、被検査物と照射光学系の照射光束とを相対的に変位させる変位部と、第1照射光学系および第2照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象から生じる第1光束および第2光束の散乱光を受光する受光光学系と、受光光学系で受光した第1光束の散乱光を第1受光信号に変換する第1受光部41と、受光光学系で受光した第2光束の散乱光を第2受光信号に変換する第2受光部42と、第1受光信号及び第2受光信号に基づき測定信号を形成する信号形成部180とを有する。ダイナミックレンジが互いに異なる第1受光信号と第2受光信号を合成して測定信号を形成する。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面に照射するための第1光束と第2光束を発する光源部と、第1光束を第1照射角度により被検査物の表面に照射する第1照射光学系と、第2光束を第1照射角度とは異なる第2照射角度により被検査物の表面に照射する第2照射光学系と、被検査物と照射光学系の照射光束とを相対的に変位させる変位部と、第1照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象から生じる第1光束の散乱光と、第2照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象から生じる第2光束の散乱光を受光する受光光学系と、受光光学系で受光した第1光束の散乱光を第1受光信号に変換する第1受光部と、受光光学系で受光した第2光束の散乱光を第2受光信号に変換する第2受光部と、第1受光信号及び第2受光信号に基づき測定信号を形成する信号形成部とを有し、第1受光部と第2受光部は、それぞれ、ダイナミックレンジが互いに異なる第1受光信号と第2受光信号を形成するものであって、信号形成部は、ダイナミックレンジが互いに異なる第1受光信号と第2受光信号を合成して、測定信号を形成する構成になっていることを特徴とする表面検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 1/00 420 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 305 A ,  G06T 1/00 420 F ,  H01L 21/66 J
Fターム (80件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065CC19 ,  2F065FF15 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065GG05 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ17 ,  2F065LL14 ,  2F065LL20 ,  2F065LL24 ,  2F065LL62 ,  2F065MM02 ,  2F065MM16 ,  2F065NN11 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065SS11 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB20 ,  2G051AC02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BC06 ,  2G051CA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051CC12 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA24 ,  4M106AA01 ,  4M106CA41 ,  4M106DB02 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB14 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ04 ,  5B047AA12 ,  5B047BA01 ,  5B047BB08 ,  5B047BC05 ,  5B047BC07 ,  5B047BC09 ,  5B047BC12 ,  5B047BC14 ,  5B047BC23 ,  5B047DB01 ,  5B047DC02 ,  5B047DC20 ,  5B057AA03 ,  5B057BA15 ,  5B057BA19 ,  5B057BA29 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE08 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22 ,  5B057DC32
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 表面検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-345736   出願人：株式会社トプコン
  • 表面検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-336568   出願人：株式会社トプコン
  • ウェーハ表面検査方法とその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-323939   出願人：株式会社トプコン
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