特許
J-GLOBAL ID：200903055824430386

投影露光装置

発明者：
水谷 真士

水谷 真士 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072605
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260262
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 チャンバー内の温度分布を検出してチャンバー内の温度を均質化する。【解決手段】 赤外線カメラ等の2次元撮像装置61,62を用いてチャンバー40内部を撮像し、得られた画像を処理することでチャンバー内のサーモグラフ(温度分布図)を得、それに基づいてチャンバー内各部の部分空調などの温度及び流量を最適制御する。温度制御は、チャンバー内を循環する雰囲気の温度を空調装置51で全体的に制御し、レチクル14、投影光学系16、ウエハ17の温度、あるいはレーザ干渉計21の光路空調温度など各部の温度を部分空調装置52,56、液体を循環させる温度調整部53,54,55,57によって制御する。
請求項（抜粋）：
感光基板を載置して2次元方向に移動可能な基板ステージと、前記基板ステージの2次元位置を検出するためのレーザ干渉計と、レチクルを載置するレチクルステージと、光源からの光を前記レチクルに入射させる照明系と、前記レチクルの像を前記基板ステージ上に載置された感光基板上に形成する投影光学系と、装置を包囲するチャンバーと、前記チャンバー内を撮像する赤外線撮像手段と、温度制御手段とを備え、前記赤外線撮像手段の出力画像から前記チャンバー内の温度分布を求め、チャンバー内の温度が略均一となるように前記温度制御手段により温度制御を行うことを特徴とする投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00
FI (4件)：
H01L 21/30 516 E ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 502 H ,  H01L 21/30 514 E
引用特許：
審査官引用 (7件)
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