無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-252871
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084646
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】露光、焼成時においてパターンの収縮を抑え、再現性の高いパターンを形成できる無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、無機粉末、および有機溶剤を含有する無機粉末含有感光性樹脂組成物において、前記光重合性モノマーがアルキレンオキサイド基を繰り返し単位として、平均2〜9有する化合物の(メタ)アクリレートであることを特徴とする無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法。

請求項（抜粋）：

高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、無機粉末、および有機溶剤を含有する無機粉末含有感光性樹脂組成物において、前記光重合性モノマーがアルキレンオキサイド基を繰り返し単位として、平均2〜9有する化合物の(メタ)アクリレートであることを特徴とする無機粉末含有感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 502 , C08F 2/48 , G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , H01J 9/02 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/027 502 , C08F 2/48 , G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , H01J 9/02 F , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭63-265238
感光性樹脂組成物、感光性エレメント及びプラズマディスプレイの背面板の製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-218640 出願人：日立化成工業株式会社
特開平4-116558

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