特許
J-GLOBAL ID：200903009484802230

無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法

発明者：
佐藤 弘光

佐藤 弘光 について

, 
田沢 賢二

田沢 賢二 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-252871
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084646
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】露光、焼成時においてパターンの収縮を抑え、再現性の高いパターンを形成できる無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、無機粉末、および有機溶剤を含有する無機粉末含有感光性樹脂組成物において、前記光重合性モノマーがアルキレンオキサイド基を繰り返し単位として、平均2〜9有する化合物の(メタ)アクリレートであることを特徴とする無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法。
請求項（抜粋）：
高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、無機粉末、および有機溶剤を含有する無機粉末含有感光性樹脂組成物において、前記光重合性モノマーがアルキレンオキサイド基を繰り返し単位として、平均2〜9有する化合物の(メタ)アクリレートであることを特徴とする無機粉末含有感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/48 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/02 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/48 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/02 F ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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