露光装置及び露光方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-039450
公開番号（公開出願番号）：特開2001-305747
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：

【要約】【課題】マスクに設けられる遮光帯域の幅を広くせずに感光基板の所望の領域のみを露光することである。【解決手段】マスク(55)と投影光学系5の間に、照明光学系から射出された照明光ELの光路を遮断するように、マスクの移動方向に概略沿う方向に移動可能なブラインド4a,4bを備えている。マスクと感光基板(56)を同期移動中に、マスクのパターン領域55以外の部分(遮光帯域)を覆うようにブラインド41a,41bを移動する。

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたマスク及び露光対象としての感光基板を同期移動するステージ装置と、該マスクを照明する照明光学系と、該マスクからのパターンの像を該感光基板上に投影する投影光学系とを備え、前記ステージ装置により前記マスク及び前記感光基板を移動しつつ、前記パターンの像を前記感光基板上に逐次投影露光するようにした露光装置において、前記照明光学系から射出された照明光の光路を遮断するように、前記マスクの移動方向に概略沿う方向に移動可能なブラインドを備え、前記ブラインドを前記マスクの移動中に該マスクの一部を覆うように移動することを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

G03F 7/22 , G02B 5/00 , G02B 19/00 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/22 Z , G02B 5/00 Z , G02B 19/00 , H01L 21/30 514 C , H01L 21/30 515 E , H01L 21/30 518

引用特許：

審査官引用 (6件)

走査露光装置及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-220445 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-161588 出願人：株式会社ニコン
走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-323717 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る