特許
J-GLOBAL ID：200903010018235677

パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法

発明者：
南 一守

南 一守 について

, 
高島 正伸

高島 正伸 について

, 
若田 裕一

若田 裕一 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (3件)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-033554
公開番号（公開出願番号）：特開2006-220864
出願日： 2005年02月09日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：
【課題】 剥離性が良好であり、現像ラチチュードが広く、レジスト線幅のバラツキが小さく、高感度であり、より高精細なパターンを形成可能であるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。【解決手段】 支持体と、該支持体上に少なくとも感光層を有してなり、感光層がバインダー、ヘテロ縮環系化合物、重合性化合物、光重合開始剤、及び重合禁止剤を少なくとも含むと共に、前記重合性化合物が、分子中に重合性基を1つ有する化合物を少なくとも含有することを特徴とするパターン形成材料である。該ヘテロ縮環系化合物がアクリドン化合物である態様が好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
支持体と、該支持体上に少なくとも感光層を有してなり、感光層がバインダー、ヘテロ縮環系化合物、重合性化合物、光重合開始剤、及び重合禁止剤を少なくとも含むと共に、前記重合性化合物が、分子中に重合性基を1つ有する化合物を少なくとも含有することを特徴とするパターン形成材料。
IPC (7件)：
G03F 7/004 ,  C08F 2/50 ,  C08F 290/00 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/20 ,  H05K 3/06
FI (8件)：
G03F7/004 512 ,  G03F7/004 503Z ,  C08F2/50 ,  C08F290/00 ,  G03F7/027 511 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 505 ,  H05K3/06 H
Fターム (96件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA16 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC45 ,  2H025BC66 ,  2H025BC82 ,  2H025CA00 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB42 ,  2H025CB60 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H097BA10 ,  2H097CA17 ,  2H097FA03 ,  2H097LA09 ,  2H097LA17 ,  4J011AC04 ,  4J011QC09 ,  4J011SA62 ,  4J011SA78 ,  4J011SA90 ,  4J011UA02 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J127AA03 ,  4J127AA06 ,  4J127BB021 ,  4J127BB031 ,  4J127BB101 ,  4J127BB111 ,  4J127BB221 ,  4J127BC021 ,  4J127BC141 ,  4J127BD421 ,  4J127BD451 ,  4J127BE25Y ,  4J127BE251 ,  4J127BF62X ,  4J127BF62Y ,  4J127BF621 ,  4J127BG01X ,  4J127BG011 ,  4J127BG13X ,  4J127BG13Y ,  4J127BG131 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127BG27Y ,  4J127BG271 ,  4J127BG28Y ,  4J127BG281 ,  4J127BG29Y ,  4J127BG291 ,  4J127CB152 ,  4J127CB281 ,  4J127CB343 ,  4J127CC022 ,  4J127CC031 ,  4J127CC032 ,  4J127CC092 ,  4J127CC131 ,  4J127CC132 ,  4J127CC133 ,  4J127CC161 ,  4J127CC162 ,  4J127CC163 ,  4J127DA23 ,  4J127DA43 ,  4J127EA11 ,  4J127EA12 ,  4J127EA13 ,  4J127FA18 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE14 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339GG01 ,  5E339GG02
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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