特許
J-GLOBAL ID：200903010069766456
駆動機構及びそれを用いた露光装置、デバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-070037
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281654
出願日： 2003年03月14日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】EUV露光装置内のミラーを6軸微動調整可能で、さらに装置外部からの振動による光学要素の位置ずれが軽減された露光装置を提供する。【解決手段】EUV露光装置であって、光学要素を有する可動部の位置及び/又は傾きを、前記可動部に非接触のままで測定する第1の測定手段と、前記第1の測定手段の測定結果に基づいて、固定部に対して非接触のままで前記可動部を相対的に6軸方向に駆動可能な駆動手段とを有することを特徴とする。【選択図】 図10
請求項（抜粋）：
光学要素を有する可動部の位置及び/又は傾きを、前記可動部に非接触のままで測定する第1の測定手段と、前記第1の測定手段の測定結果に基づいて、固定部に対して非接触のままで前記可動部を相対的に6軸方向に駆動可能な駆動手段とを有することを特徴とする駆動機構。
IPC (5件)：
H01L21/027
, G02B7/00
, G02B7/02
, G02B7/04
, G03F9/02
H01L21/30 515D
, G02B7/00 A
, G02B7/02 C
, G03F9/02 H
, G02B7/04 E
2H043AA03
, 2H043AA15
, 2H043AA25
, 2H044AC01
, 2H044BE09
, 5F046BA04
, 5F046BA05
, 5F046CB02
, 5F046CB12
, 5F046CB25
, 5F046DA12
, 5F046DB05
