特許
J-GLOBAL ID：200903010242346620

電気供給ユニット、およびスパッタ時の火花形成を制限する方法

発明者：
クレッペル,アンドレアス

クレッペル,アンドレアス について

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ダウベ,クリストフ

ダウベ,クリストフ について

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シュトレンベルク,ヨハネス

シュトレンベルク,ヨハネス について

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リンツ,トーマス

リンツ,トーマス について


出願人/特許権者：
ユナキス・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

ユナキス・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング について


代理人 (1件)： 深見 久郎 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-530893
公開番号（公開出願番号）：特表2003-511846
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月25日
要約：
【要約】高周波スパッタ時の火花の発生を抑制するための、高周波発生器(5)が提案される。この発生器(5)は、その出力側に直列接続された被制御スイッチユニット(13)を有するが、高周波発生器の出力においてプラズマ放電(PL)用に発生した高周波給電信号はこのスイッチユニット(13)により短時間停止される。
請求項（抜粋）：
少なくとも一つのHF発生器(5)を含む、スパッタ室(1)内のプラズマ放電(PL)の電気供給用給電ユニットであって、HF発生器(5)が被制御スイッチユニット(13)を含むことを特徴とし、前記スイッチユニットにより、HF発生器(5)の出力(5a)に発生したHF給電信号が少なくとも第一の期間(tA)停止され、前記第一の期間は、HF給電信号が前記出力にある第二の期間(tB)よりはるかに短い、給電ユニット。
IPC (4件)：
H05H 1/46 ,  C23C 14/34 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/00
FI (4件)：
H05H 1/46 R ,  C23C 14/34 T ,  H05H 1/00 A ,  H01L 21/302 101 G
Fターム (10件)：
4K029BA45 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  5F004AA06 ,  5F004BA04 ,  5F004BC08 ,  5F004BD05
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (12件)
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