特許

J-GLOBAL ID：200903010296505871

新規なポジ型感光性樹脂組成物

発明者： イリヤ・ラシュキン ,  アーマド・エイ・ナイイーニ ,  リチャード・ホウプラ ,  パメラ・ジェイ・ウォーターソン ,  ウィリアム・ディー・ウィーバー
出願人/特許権者： フジフィルム・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 高木 千嘉 ,  結田 純次 ,  三輪 昭次
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-515138
公開番号（公開出願番号）：特表2006-526812
出願日： 2004年06月03日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：

酸に不安定な官能基を有するエンドキャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体、そのポジ型感光性組成物および基板上に耐熱性レリーフ画像を作成するためにこの組成物を使用すること。

請求項（抜粋）：

構造I:

IPC (3件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/075 ,  C08G 73/22

FI (3件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/075 501 ,  C08G73/22

Fターム (43件)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025CB26 ,  2H025CB41 ,  2H025CB55 ,  2H025CC06 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA02 ,  4J043QB21 ,  4J043QB31 ,  4J043RA52 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043UA082 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA331 ,  4J043UA621 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB221 ,  4J043UB222 ,  4J043UB281 ,  4J043UB282 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043UB312 ,  4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (5件)

• ポリアミド樹脂の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-248358   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-319226   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-048388   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール前駆体組成物、パターンの製造方法及びこれを用いた電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-027309   出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
• 新規な光感受性ポリベンゾオキサゾール前駆体組成物
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-572720   出願人：アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド