特許
J-GLOBAL ID：200903010641845176

蒸着装置

発明者：
渡辺 伸吾

渡辺 伸吾 について

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小野 裕司

小野 裕司 について

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長谷川 孝祐

長谷川 孝祐 について

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小川 正浩

小川 正浩 について

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本田 晃一

本田 晃一 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (3件)： 萩原 康司 ,  金本 哲男 ,  亀谷 美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-269085
公開番号（公開出願番号）：特開2008-088489
出願日： 2006年09月29日
公開日（公表日）： 2008年04月17日
要約：
【課題】蒸気発生部で発生させた成膜材料の蒸気を温度低下させること無く蒸着ヘッドに送ることができる蒸着装置を提供する。【解決手段】蒸着により被処理体Gを成膜処理する蒸着装置13であって、被処理体Gを成膜処理する処理室30と、成膜材料を蒸発させる蒸気発生室31とを隣接させて配置し、処理室30の内部と蒸気発生室31の内部を減圧させる排気機構36,41を設け、処理室30に、成膜材料の蒸気を噴出させる蒸気噴出口80を配置し、蒸気発生室31に、成膜材料を蒸発させる蒸気発生部70〜72と、成膜材料の蒸気の供給を制御する制御弁75〜77とを配置し、蒸気発生部31で発生させた成膜材料の蒸気を、処理室30と蒸気発生室31の外部に出さずに、蒸気噴出口80に供給させる流路81〜83、85を設けた。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
蒸着により被処理体を成膜処理する蒸着装置であって、 被処理体を成膜処理する処理室と、成膜材料を蒸発させる蒸気発生室とを隣接させて配置し、 前記処理室の内部と前記蒸気発生室の内部を減圧させる排気機構を設け、 前記処理室に、成膜材料の蒸気を噴出させる蒸気噴出口を配置し、 前記蒸気発生室に、成膜材料を蒸発させる蒸気発生部と、成膜材料の蒸気の供給を制御する制御弁とを配置し、 前記蒸気発生部で発生させた成膜材料の蒸気を、前記処理室と前記蒸気発生室の外部に出さずに、前記蒸気噴出口に供給させる流路を設けたことを特徴とする、蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
C23C14/24 M ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (14件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG32 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB11 ,  4K029DB12 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
  • 蒸着装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-289459   出願人：日立造船株式会社
  • 有機薄膜の製造方法および製造装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-276262   出願人：富士電機ホールディングス株式会社
  • 特開昭62-078188
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