特許

J-GLOBAL ID：200903076112429702

有機薄膜の製造方法および製造装置

発明者： 松風 紀之 ,  木村 浩
出願人/特許権者： 富士電機ホールディングス株式会社
代理人 (2件)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-276262
公開番号（公開出願番号）：特開2005-036296
出願日： 2003年07月17日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

【課題】 有機材料の加熱方法の制御を単純に行うことができ、蒸着される有機材料の温度管理が容易であり、かつ得られる有機薄膜の膜厚分布の再現性、安定性に優れた有機薄膜の製造方法および製造装置の提供。【解決手段】 真空チャンバー内に設置された蒸着装置に対して、蒸着装置外に設置された材料導入部から有機材料を気相にて供給し、蒸着装置内に配設される基板上に有機材料の薄膜を形成する工程を含み、材料導入部は蒸着装置と独立に圧力設定可能な構造を有し、かつ蒸着装置と独立した排気装置を具えたことを特徴とする有機薄膜の製造方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空チャンバー内に設置され、ラインソースを有する蒸着装置に対して、前記蒸着装置外に設置された材料導入部から前記ラインソースに有機材料を気相にて供給し、前記蒸着装置内に配設される基板上に前記有機材料の薄膜を形成する工程を含み、前記材料導入部は前記蒸着装置と独立に圧力設定可能な構造を有し、かつ前記蒸着装置と独立した排気装置を具えたことを特徴とする有機薄膜の製造方法。

IPC (3件)：

C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (3件)：

C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (15件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DA02 ,  4K029DA05 ,  4K029DA10 ,  4K029DB06 ,  4K029DB11 ,  4K029DB15 ,  4K029DB17

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 有機層蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-121952   出願人：イーストマンコダックカンパニー
• 有機化合物の蒸着方法、及び有機化合物の精製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-056707   出願人：城戸淳二, 株式会社アイメス
• 有機薄膜の低圧蒸着
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-521253   出願人：ザトラスティーズオブプリンストンユニバーシティ

審査官引用 (4件)

• 蒸発源および蒸発源を備えた真空処理室、有機化合物膜の成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-262319   出願人：日本真空技術株式会社
• 薄膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-267881   出願人：エルジー電子株式会社
• 蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-045296   出願人：株式会社デンソー
• 薄膜製造装置とその装置を用いた薄膜積層装置並びに薄膜製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-390287   出願人：シャープ株式会社