特許
J-GLOBAL ID：200903011036485245

基板保持装置、デバイス製造装置及びデバイス製造方法

発明者：
松井 紳

松井 紳 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-263131
公開番号（公開出願番号）：特開2004-103799
出願日： 2002年09月09日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】真空環境下又は減圧環境下での使用に好適でメンテナンスが容易な基板保持装置を提供する。【解決手段】基板3を支持するプレート2と、プレート2を支持するベース部材1と、プレート2をベース部材1上に磁力により固定する磁力式固定機構9とを備え、プレート2は、ベース部材1上から取り外すことができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持装置であって、 基板を支持するプレートと、 前記プレートを支持するベース部材と、 前記プレートを前記ベース部材上に磁力により固定する磁力式固定機構と、 を備え、前記プレートは、前記ベース部材から取り外し可能であることを特徴とする基板保持装置。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (4件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/68 R ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 503C
Fターム (26件)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031GA15 ,  5F031HA02 ,  5F031HA12 ,  5F031HA18 ,  5F031HA19 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA53 ,  5F031HA80 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F046CC08 ,  5F046CC20
引用特許：
審査官引用 (7件)
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