X線回折測定装置およびX線回折測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：谷義一 , 阿部和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-088686
公開番号（公開出願番号）：特開2004-251866
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】短時間で測定可能な1μm以下の高精度・高空間分解能のX線回折測定装置およびX線回折測定方法を提供すること。【解決手段】回折X線ビーム(又は透過X線ビーム)の幅の拡大倍率が50倍以上かつ150倍以下の少なくとも1つのASR結晶3を用いて試料1からのX線ビームを1方向または互いに直交する2方向に拡大してX線ビームの空間強度分布を記録したり、FZP16を用いて試料1からのX線ビームを拡大してX線ビームの空間強度分布を記録したり、あるいは、試料1からのX線像をFZP16上に結像し、少なくとも1つのASR結晶3を用いて1方向または互いに直交する2方向に拡大してX線ビームの空間強度分布を記録するようにした。また、FZP16をフレネルゾーン加工部以外の部分にX線不透過処理を施した位相変調型FZPとしたり、FZP16の焦点近傍に設けた遮蔽手段により目的とする回折光以外の光を遮断するようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定試料の結晶格子面でブラッグ条件を満足して回折または透過したX線ビームの強度を記録するためのX線回折測定装置であって、前記測定試料からのX線ビームを、1方向、または、互いに直交する2方向に拡大するための少なくとも1つの非対称反射結晶(ASR結晶)と、当該ASR結晶により拡大されたX線ビームの空間強度分布を記録するための記録手段とを備え、前記ASR結晶のうちの少なくとも1つの拡大倍率が50倍以上かつ150倍以下であることを特徴とするX線回折測定装置。

IPC (2件)：

G01N23/20 , G21K1/06

FI (2件)：

G01N23/20 , G21K1/06 G

Fターム (13件)：

2G001AA01 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001DA05 , 2G001DA09 , 2G001EA02 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA05 , 2G001JA13 , 2G001KA08 , 2G001SA02 , 2G001SA04

引用特許：

審査官引用 (8件)

結晶中のひずみの測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-259480 出願人：ソニー株式会社
単色X線CT装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-044505 出願人：新日本製鐵株式会社, 高エネルギー物理学研究所長
特開昭63-128243

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Cryst Res Technol

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