特許
J-GLOBAL ID:200903011995627776 静電型アクチュエータの製造方法および静電型アクチュエータならびにインクジェット記録ヘッド
発明者: 出願人/特許権者: 代理人 (1件):
渡辺 望稔 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-018006
公開番号(公開出願番号):特開2003-211679
出願日: 2002年01月28日
公開日(公表日): 2003年07月29日
要約:
【要約】【課題】ラインヘッドのような長尺なインクジェット記録ヘッドを作製する場合であっても、簡易に、かつ、広い面積にわたってインク室基板と電気基板とのギャップの精度を確保できる静電型アクチュエータおよびその製造方法、ならびに、これを利用するインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】少なくとも一部が電極となっている振動面を有する第1基板と、電極と離間して対面する対向電極を有し、所定間隙を持って第1基板と対面接合される第2基板と、所定位置において第1基板および第2基板に挟持されることにより、両基板の間を所定間隙に保持する、1μm以下かつ前記所定の間隙と略同一の外径を有する微粒子とを有することにより、前記課題を解決する。
請求項(抜粋):
少なくとも一部が電極となっている振動面を有する第1基板と、前記電極と離間して対面する対向電極を有し、所定の間隙を持って前記第1基板と対面接合される第2基板とを有する静電型アクチュエータを製造するに際し、1μm以下かつ前記所定の間隙と略同一の外径を有する微粒子を、前記第1基板面および第2基板面の少なくとも一方の所定位置に単層で付着させ、この微粒子を挟持するように前記第1基板と第2基板とを接合することを特徴とする静電型アクチュエータの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (2件):
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
Fターム (6件):
2C057AF93
, 2C057AG54
, 2C057AP25
, 2C057BA05
, 2C057BA14
, 2C057BA15
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