ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-186809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267287
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用に好適であり、250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度、解像度、密着性及びレジストパターンを与え、更に十分な耐ドライエッチング性を示す現像欠陥の少ないポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び特定の脂環式基と酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基とを有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂を含有し、前記樹脂が下記一般式(I)、(II)又は(III)で表される構造の少なくとも1つを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)〜(III)中、R1 、R2 は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、直鎖、分岐、環状アルキル基を表し、R1 とR2 が結合して単環または多環を形成してもよい。また、その環の中に酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケトン、エステル、イミド、アミドを連結基として有してもよい。R3 〜R5 は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、直鎖、分岐、環状アルキル基またはアルコキシ基を表し、R3 〜R5 のうちの二つ又は全てが結合して酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケトン、エステルを連結基として有してもよい単環あるいは多環を形成してもよい。Xは単結合または2価の結合基を表し、XとR1 、R2 のいずれか、又は両方が結合して単環あるいは多環を形成してもよい。Yは酸素原子、硫黄原子、-NH-、-N(OH)-又は-N(アルキル)-を表す。nは1〜3の整数を表す。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/027 , C08F 20/26

FI (3件)：

G03F 7/039 601 , C08F 20/26 , H01L 21/30 502 R

Fターム (47件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025CB06 , 2H025CB14 , 2H025CB15 , 2H025CB21 , 2H025CB41 , 2H025CB52 , 2H025CB55 , 2H025CC04 , 2H025FA17 , 4J100AJ02P , 4J100AJ09P , 4J100AL08P , 4J100AL39P , 4J100AL41P , 4J100AM21P , 4J100AP01P , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA05P , 4J100BA06P , 4J100BA11P , 4J100BA15P , 4J100BA16P , 4J100BA38P , 4J100BA51P , 4J100BA53P , 4J100BB01P , 4J100BC03P , 4J100BC04P , 4J100BC07P , 4J100BC09P , 4J100BC12P , 4J100BC26P , 4J100BC53P , 4J100BC83P , 4J100CA01 , 4J100JA37

引用特許：

審査官引用 (5件)

ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-043974 出願人：富士写真フイルム株式会社
分解性化合物および分解性樹脂並びにこれらを用いた感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-327775 出願人：三菱電機株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-037944 出願人：ジェイエスアール株式会社

全件表示

前のページに戻る