特許
J-GLOBAL ID：200903012397217373

露光装置

発明者：
中谷 隆司

中谷 隆司 について

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西川 寛

西川 寛 について

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川浦 英明

川浦 英明 について


出願人/特許権者：
日本電産シンポ株式会社

日本電産シンポ株式会社 について

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ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091907
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288097
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 縦型露光装置の実現化を図る。【解決手段】 平置き状態で搬送された露光されるべき基板2を、直立の姿勢に変換する基板姿勢変換機構20を備える。
請求項（抜粋）：
平置き状態で搬送された露光されるべき基板を、直立の姿勢に変換する基板姿勢変換機構を備えて成ることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 501 ,  G02F 1/13 101 ,  H01J 9/48
FI (3件)：
G03F 7/20 501 ,  G02F 1/13 101 ,  H01J 9/48
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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