金属異物検出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：西藤征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312729
公開番号（公開出願番号）：特開2006-125937
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】従来のマグネットを用いた導電性金属異物の除去方法では除去できなかった導電性金属異物を検出することがてきる金属異物検出方法を提供する。【解決手段】磁化器1が発生する磁束中に、半導体封止用エポキシ樹脂組成物Tからなる被検査体を位置させ、その被検査体中に金属異物が存在したときに、上記磁束によって、その金属異物を誘導加熱状態にし、ついで、その被検査体の温度分布を赤外線カメラ2等で測定することにより、上記金属異物を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

磁化器が発生する磁束中に、半導体封止用エポキシ樹脂組成物からなる被検査体を位置させ、その被検査体中に金属異物が存在したときに、上記磁束によって、その金属異物を誘導加熱状態にし、ついで、その被検査体の温度分布を測定することにより、上記金属異物を検出することを特徴とする金属異物検出方法。

IPC (5件)：

G01V 8/10 , G01N 25/72 , G01V 9/00 , H01L 23/29 , H01L 23/31

FI (4件)：

G01V9/04 S , G01N25/72 K , G01V9/00 A , H01L23/30 Z

Fターム (17件)：

2G040AA05 , 2G040AB12 , 2G040BA02 , 2G040BA25 , 2G040CA01 , 2G040CA23 , 2G040DA06 , 2G040DA15 , 2G040EA04 , 2G040EB02 , 2G040HA02 , 2G066AC20 , 2G066CA02 , 4M109EA02 , 4M109EB03 , 4M109EB04 , 4M109EB12

引用特許：

出願人引用 (1件)

ドラム型金属選別回収装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-351981 出願人：日立機材株式会社

審査官引用 (6件)

温度測定方法および非破壊欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-176419 出願人：三井東圧化学株式会社
特開昭49-061217
半導体封止用樹脂組成物、その製造方法及び製造装置ならびにそれを使用した半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-312300 出願人：富士通株式会社

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