特許
J-GLOBAL ID:200903012966113077

非破壊検査装置及びそれを用いた非破壊検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松下 義治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-148903
公開番号(公開出願番号):特開2006-329632
出願日: 2005年05月23日
公開日(公表日): 2006年12月07日
要約:
【課題】 従来は平面的な走査であったため、3次元的な形状の測定対象ではスタンドオフが一定に保てず、検査時の感度が一定しないという課題を有していた。【解決手段】 3次元形状を有する被検査試料の形状を抽出し、そのデータを元に、高感度磁気センサが、非検査試料の表面から一定の位置で、一定の向きを保つように非検査試料上を動き、非検査試料の磁気を非接触で連続的に検出し、測定対象の磁気分布等を得て非破壊的な検査を行う。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
磁気センサと、前記磁気センサを保持し走査させる多軸ロボットと、 前記多軸ロボットを制御するロボット制御手段と、を備え測定対象を非破壊で計測する非破壊検査装置において 前記測定対象の形状を計測する形状認識センサと、前記測定対象の形状に沿って前記磁気センサを走査させる経路や姿勢を定める走査姿勢経路決定手段と、前記測定対象を前記磁気センサにより計測してデータを収集するデータ収集手段を有することを特徴とする非破壊検査装置
IPC (3件):
G01N 27/82 ,  G01R 33/035 ,  G01R 33/12
FI (3件):
G01N27/82 ,  G01R33/035 ,  G01R33/12 Z
Fターム (26件):
2G017AA01 ,  2G017AB02 ,  2G017AB07 ,  2G017AC01 ,  2G017AC06 ,  2G017AC08 ,  2G017AD32 ,  2G017CB11 ,  2G017CB16 ,  2G017CB21 ,  2G053AA11 ,  2G053AB01 ,  2G053BA12 ,  2G053BA21 ,  2G053BA30 ,  2G053CA01 ,  2G053CA06 ,  2G053CA10 ,  2G053CB29 ,  2G053DA01 ,  2G053DB06 ,  2G053DB07 ,  2G053DB09 ,  2G053DB19 ,  2G053DB23 ,  2G053DB26
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 非破壊検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-319120   出願人:住友電気工業株式会社
  • 非破壊検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-043811   出願人:株式会社日立製作所
審査官引用 (6件)
  • 非破壊検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-043811   出願人:株式会社日立製作所
  • 特開昭63-309853
  • 自動超音波探傷方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-204150   出願人:新日本製鐵株式会社
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