情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法並びにそれに使用する研磨パッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-034094
公開番号（公開出願番号）：特開2004-243445
出願日： 2003年02月12日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】研磨に使用する研磨パッドについて表面状態の良好なものを効果的に選定することができ、表面品質の向上を図ることができる情報記録媒体用ガラス基板を提供する。【解決手段】情報記録媒体用ガラス基板は、ガラス素板の表面に研磨剤を供給し、研磨パッドを摺接させることにより、同表面を研磨して製造されている。この研磨パッドには、複数の独立気泡13が内在する内層14と、該独立気泡13に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔15が表面に設けられた外層16とを有するナップ層12をその表面に備えるものが使用されている。また、製造されたガラス基板は、三次元表面構造解析顕微鏡を用い、測定波長(λ)を0.2〜1.4mmに設定して測定された表面の微小うねりの高さ(NRa)が0.15nm以下とされている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

円盤状に形成されたガラス素板の表面を研磨して情報記録媒体用ガラス基板を製造するときに使用する研磨パッドであって、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有するナップ層をその表面に備えることを特徴とする研磨パッド。

IPC (4件)：

B24B37/00 , B24B1/00 , G11B5/73 , G11B5/84

FI (4件)：

B24B37/00 C , B24B1/00 D , G11B5/73 , G11B5/84 A

Fターム (17件)：

3C049AA07 , 3C049AA09 , 3C049CA01 , 3C049CB01 , 3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CA01 , 3C058CB01 , 5D006CB04 , 5D006CB07 , 5D006DA03 , 5D112AA02 , 5D112BA03 , 5D112BA09 , 5D112GA02 , 5D112GA09 , 5D112GA11

引用特許：

審査官引用 (7件)

研磨用パッドおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-015256 出願人：住友ベークライト株式会社
特許第6284114号
研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-176826 出願人：東レ株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

ファイナルポリシング(仕上げ研磨)クロスパッド, 1995

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