特許

J-GLOBAL ID：200903013208029975

自己励振型カンチレバー

発明者： 高橋 寛 ,  清水 信宏 ,  新井 正 ,  白川部 喜春 ,  安室 千晃
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070924
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266657
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 シリコンカンチレバー本体やホルダーに付加的にPZTなどの圧電体を用意する必要なしに、シリコンカンチレバー本体を励振させること。【解決手段】 カンチレバー本体2上に設けられた抵抗発熱体3の直上に、シリコンと異なる熱膨張係数を有する金属層7を設け、抵抗発熱体3に間歇的に電流を流すことによって抵抗発熱体3を間歇発熱させ、これによりレバー部分21の材料であるシリコンと、金属層7の材料であるアルミニウムとの間の熱膨張係数の差によりレバー部分21を励振させるようにした。

請求項（抜粋）：

シリコンカンチレバー本体と、該シリコンカンチレバー本体上に形成された抵抗発熱体と、該抵抗発熱体の直上に設けられシリコンと異なる熱膨張係数を有する材料から成る薄膜とを備えて成ることを特徴とする自己励振型カンチレバー。

IPC (2件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z

Fターム (22件)：

2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD25 ,  2F069DD26 ,  2F069DD27 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM11 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 電気機械変換器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-509836   出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
• カンチレバー振れセンサ及びその使用方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-523916   出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
• カンチレバー型変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこのカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-103796   出願人：キヤノン株式会社
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-172375   出願人：株式会社トーキン, 木村光照

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 熱膨張を利用したカンチレバ-アクチュエータアレイ