特許
J-GLOBAL ID：200903013241203220

外観検査方法及び外観検査装置

発明者：
皆川 圭司

皆川 圭司 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  青木 博昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-267496
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078540
出願日： 2005年09月14日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 検査対象物における欠陥の形状や各検査対象物に形成されたそれぞれ異なる研磨筋等によらず、検査対象物の欠陥を確実に検出すること。【解決手段】 本発明に係る外観検査方法は、検査対象物22を撮像して撮像画像P1を取得する工程と、軸X,Y方向における検査対象物画像P1aの平均輝度分布を算出する工程と、マスタ画像P2を平均輝度分布に基づいて生成する工程と、撮像画像P1とマスタ画像P2とから第1補正画像P3を生成する工程と、ソーベルフィルタにより第1補正画像P3における各画素の輝度値の変化量を算出してソーベル処理画像P4を生成する工程と、ソーベル処理画像P4と第1補正画像P3とから第2補正画像P5を生成する工程と、第2補正画像P5を2値化して連結領域を特定し、その連結領域の画素数と閾値とを対比する工程とを備える。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
検査対象物の外観検査を行うための外観検査方法であって、 前記検査対象物を撮像して検査対象物画像を含む撮像画像を取得する工程と、 前記検査対象物画像の外縁に沿う第1の方向に平行な一連の画素からなる第1の画素列毎に該第1の画素列に含まれる前記一連の画素の輝度値の平均を算出すると共に、前記第1の方向と直交する第2の方向に平行な一連の画素からなる第2の画素列毎に該第2の画素列に含まれる前記一連の画素の輝度値の平均を算出することで、前記第1の方向及び前記第2の方向における前記検査対象物画像の平均輝度分布を算出する工程と、 前記検査対象物画像に対して基準となる基準画像を前記平均輝度分布に基づいて生成する工程と、 前記撮像画像と前記基準画像とから第1補正画像を生成する工程と、 ソーベルフィルタにより前記第1補正画像における各画素の輝度値の変化量を算出してソーベル処理画像を生成する工程と、 前記ソーベル処理画像と前記第1補正画像とから第2補正画像を生成する工程と、 前記第2補正画像を2値化して連結領域を特定し、該連結領域の画素数と閾値とを対比する工程とを備えることを特徴とする外観検査方法。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G06T 1/00
FI (2件)：
G01N21/88 J ,  G06T1/00 305A
Fターム (32件)：
2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G051ED09 ,  2G051ED22 ,  2G051ED23 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CB19 ,  5B057CE12 ,  5B057CF03 ,  5B057CF05 ,  5B057DA07 ,  5B057DA15 ,  5B057DA16 ,  5B057DC04 ,  5B057DC05 ,  5B057DC14 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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