特許
J-GLOBAL ID：200903013438296450

リニアモータ

発明者：
原 憲二

原 憲二 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-040107
公開番号（公開出願番号）：特開2003-244929
出願日： 2002年02月18日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】可動子のストロークが異常に長いリニアモ-タを半導体製造装置に適用する場合に、イナーシャが小さくて高速動作に適し、制御性が良く、小型化が可能なリニアモータを提供する。【解決手段】永久磁石を設けた可動子1と、移動磁界を発生させるコイル10を設けた固定子2とより構成されるリニアモータであって、固定子2はその長手方向に向かって単位当たりの長さに分割された複数のモジュール2a,2b、...2x,2y、2zを連結したもので構成され、モータの位置制御を行うためのサーボドライブ装置を介して上位コントローラから当該該各々のモジュールに指令を送ることにより、可動子1を連続して走行位置決めさせるようにした。また、分割されたモジュール2a,2b、...2x,2y、2zは、サーボドライブ制御装置9を一体化したものである。
請求項（抜粋）：
リニアスケールのスケール部と永久磁石を設けた可動子と、前記スケール部を読みとるセンサーと前記永久磁石に対して移動磁界を発生させるコイルを設けた固定子とより構成されるリニアモータであって、前記固定子はその長手方向に向かって単位当たりの長さに分割された複数のモジュールを連結したもので構成され、モータの位置制御を行うためのサーボドライブ装置を介して上位コントローラから当該該各々のモジュールに指令を送ることにより、前記可動子を連続して走行位置決めさせるようにしたことを特徴とするリニアモータ。
IPC (3件)：
H02K 41/03 ,  H02P 7/00 101 ,  H02P 21/00
FI (3件)：
H02K 41/03 A ,  H02P 7/00 101 B ,  H02P 5/408 C
Fターム (32件)：
5H540AA06 ,  5H540AA10 ,  5H540BA05 ,  5H540BB06 ,  5H540BB09 ,  5H540EE02 ,  5H540EE05 ,  5H540FA04 ,  5H540FA14 ,  5H576AA17 ,  5H576AA20 ,  5H576BB03 ,  5H576BB09 ,  5H576DD07 ,  5H576DD10 ,  5H576EE01 ,  5H576GG01 ,  5H576HB01 ,  5H576JJ03 ,  5H576JJ12 ,  5H576JJ14 ,  5H576JJ17 ,  5H576JJ23 ,  5H576LL41 ,  5H641BB06 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG12 ,  5H641GG24 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH03
引用特許：
審査官引用 (14件)
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