特許

J-GLOBAL ID：200903013463662002

基板自動供給回収装置及び半導体製造装置

発明者： 岩渕 和弘 ,  猪又 重郎 ,  高橋 宏 ,  川口 仁 ,  千葉 詳 ,  赤坂 謙太郎
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276118
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125760
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 基板自動供給回収装置及び半導体製造装置に関し、半導体の基板が汚染されにくく、且つ待ち時間を最小限にするようにすることを目的とする。【解決手段】 半導体の基板24を収納したカセット26を収納可能な保管容器28を配置した複数のステージ22と、各ステージ内で保管容器を開閉するための開閉装置30と、ステージ内の各保管容器に清浄用ガスを供給するためのガス供給装置32と、基板用搬送手段20とを備え、基板を収納したカセットをステージ内においてガスを充満した状態で保管容器に保管し、選択されたカセットを該保管容器から基板処理部18に供給し又はカセットを該基板処理部から回収してステージ内においてガスを充満した状態で保管容器に保管する構成とする。

請求項（抜粋）：

半導体の基板を収納したカセットを収納可能な保管容器を配置した複数のステージと、各ステージ内で保管容器を開閉するための開閉手段と、ステージ内の各保管容器に清浄用ガスを供給するためのガス供給手段と、基板用搬送手段とを備え、基板を収納したカセットをステージ内においてガスを充満した状態で保管容器に保管し、選択されたカセットを該保管容器から基板処理部に供給し又はカセットを該基板処理部から回収してステージ内においてガスを充満した状態で保管容器に保管するようにしたことを特徴とする基板自動供給回収装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 L ,  H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

• クリーンルーム用保管庫
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-008663   出願人：神鋼電機株式会社
• クリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-216521   出願人：神鋼電機株式会社
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-107766   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 可搬式密閉コンテナ移送式の電子基板処理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-221474   出願人：神鋼電機株式会社
• 半導体製造装置及びそのウェーハカセット棚
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-308177   出願人：国際電気株式会社
• カセット搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-309811   出願人：国際電気株式会社