圧電センサ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-170126
公開番号（公開出願番号）：特開2007-108161
出願日： 2006年06月20日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】感度の低い圧電素子を使用して、高感度が得られる圧電センサを提供することである。【解決手段】第1の面にて圧力を受け、その圧力により電荷を発生する圧電素子10を備えた圧電センサにおいて、前記第1の面とは反対の第2の面が臨む領域に空間が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の面にて圧力を受け、その圧力により電荷を発生する圧電素子を備えた圧電センサにおいて、前記第1の面とは反対の第2の面が臨む領域に空間が形成されていることを特徴とする圧電センサ。

IPC (5件)：

G01L 9/06 , G01L 23/10 , H01L 41/08 , H01L 41/18 , G01H 11/08

FI (5件)：

G01L9/06 , G01L23/10 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101Z , G01H11/08

Fターム (11件)：

2F055AA21 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD07 , 2F055DD09 , 2F055EE23 , 2F055FF11 , 2F055GG11 , 2G064BA08 , 2G064BD18

引用特許：

出願人引用 (5件)

圧電型振動センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-293461 出願人：株式会社フジクラ
耐熱型アコースティックエミッションセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-006082 出願人：株式会社日立エンジニアリングサービス
圧電型振動センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-012417 出願人：株式会社フジクラ

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審査官引用 (4件)

圧電センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-322301 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
特開昭55-160820
特開昭56-012516

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