超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、及び超音波内視鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-294816
公開番号（公開出願番号）：特開2008-110059
出願日： 2006年10月30日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
要約：

【課題】一対の電極間に空隙部を形成している2枚のウエハの接合界面部の剥離を防止した高耐性の超音波トランスデューサを提供すること。【解決手段】本発明の超音波トランスデューサ25は、一対の電極31,35間に配設された空隙部51と、該空隙部と接し、超音波送受信面となる振動膜38と、上記空隙部を介し上記振動膜と対向する位置にある基板と、上記空隙部の外周を形成する隔壁部と、を有し、上記隔壁部、及び該隔壁部と接触する上記基板表面部の少なくとも一部分を同一の絶縁材料により形成した。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

一対の電極間に配設された空隙部と、該空隙部と接し、超音波送受信面となる振動膜と、上記空隙部を介し上記振動膜と対向する位置にある基板と、上記空隙部の外周を形成する隔壁部と、を有し、上記隔壁部、及び該隔壁部と接触する上記基板表面部の少なくとも一部分を同一の絶縁材料により形成したことを特徴とする超音波トランスデューサ。

IPC (2件)：

A61B 8/12 , H04R 17/00

FI (3件)：

A61B8/12 , H04R17/00 330H , H04R17/00 330K

Fターム (12件)：

4C601BB24 , 4C601EE10 , 4C601EE12 , 4C601FE01 , 4C601GB02 , 4C601GB05 , 4C601GB14 , 4C601GB41 , 5D019AA07 , 5D019AA25 , 5D019BB26 , 5D019FF04

引用特許：

出願人引用 (2件)

国際公開No:WO2004/016036 A2号公報
可変の音響インピーダンスを有する超音波変換器ウェハー
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-221970 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

審査官引用 (5件)

マイクロ機械加工された超音波トランスデューサ及び製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-527860 出願人：ザ・ボード・オブ・トラスティーズ・オブ・ザ・レランド・スタンフォード・ジュニア・ユニバーシティ
体腔内超音波診断システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-014415 出願人：オリンパス株式会社
基板接合方法および基板接合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-137882 出願人：須賀唯知, アユミ工業株式会社

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