光重合性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-338548
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170816
出願日： 2002年11月21日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】現像後のレジストパターン解像性、硬化膜テンティング性、エッジフューズ性、現像液分散時の低凝集性、及び剥離性に優れるDFR用組成物を提供する。【解決手段】(a)カルボキシル基含有量が酸当量100-600、重量平均分子量が2万-50万の線状重合体からなるバインダー、(b)式(1)および式(2)の化合物を含む光重合性不飽和化合物、及び(c)光重合開始剤から樹脂組成物を製造する。【化1】【化2】(R1,R2,R3:(メタ)アクリロイル基、A1,A3,A4:C2H4,C3H6。A2:C数6以下の鎖状炭化水素又はシクロアルカン、K:1-6、2≦m+n+p+q≦40)【選択図】選択図なし

請求項（抜粋）：

(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600でありかつ重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体からなるバインダー用樹脂を20〜80質量%、(b)下記一般式(I)で表わされる化合物と下記一般式(II)で表わされる化合物とを含む光重合性不飽和化合物成分を5〜70質量%、および(c)光重合開始剤を0.1〜15質量%含有することを特徴とする光重合性樹脂組成物。

IPC (11件)：

G03F7/027 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F265/02 , C08F290/06 , G03F7/004 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/033 , H05K3/06 , H05K3/18

FI (11件)：

G03F7/027 502 , C08F2/44 C , C08F2/50 , C08F265/02 , C08F290/06 , G03F7/004 512 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/033 , H05K3/06 H , H05K3/18 D

Fターム (75件)：

2H025AA02 , 2H025AA16 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025CA28 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CB51 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J011AA05 , 4J011PA02 , 4J011PA65 , 4J011PA69 , 4J011PA70 , 4J011PB40 , 4J011QA17 , 4J011QA18 , 4J011QA35 , 4J011QB16 , 4J011QB20 , 4J011RA03 , 4J011SA78 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J026AA43 , 4J026AA45 , 4J026BA28 , 4J026BB04 , 4J026BB10 , 4J026DA02 , 4J026DA15 , 4J026DB06 , 4J026DB36 , 4J026EA06 , 4J026FA06 , 4J026GA07 , 4J027AC03 , 4J027AC06 , 4J027BA04 , 4J027CA02 , 4J027CA03 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 5E339BC02 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE14 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD04 , 5E339GG01 , 5E339GG10 , 5E343BB24 , 5E343CC63 , 5E343DD32 , 5E343EE17 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343ER43 , 5E343GG08 , 5E343GG20

引用特許：

審査官引用 (11件)

光重合性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-025192 出願人：旭化成工業株式会社
感光性樹脂積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-128586 出願人：旭化成株式会社
特開平3-148658

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