特許
J-GLOBAL ID:200903013825473041
半導体装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 昭徳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-145903
公開番号(公開出願番号):特開2003-338604
出願日: 2002年05月21日
公開日(公表日): 2003年11月28日
要約:
【要約】【課題】 統合型のインテリジェントスイッチデバイス、複統合型の入力信号・伝達ICまたは統合型のパワーICなどに用いられる横型MOSFETにおいて、複雑な分離構造を用いずに、より小さいチップ面積でESD耐量およびサージ耐量を高くすること。【解決手段】 表面電極48によりベースとエミッタをショートし、かつP型エピタキシャル成長層43およびP型半導体基板44をコレクタとする縦型バイポーラトランジスタの前記表面電極48と、横型MOSFETのドレイン電極52とを金属電極配線54により電気的に接続し、高ESD電圧や高サージ電圧が印加されたときに、縦型バイポーラトランジスタの動作によりESDおよびサージエネルギーを吸収するとともに、破壊に至る横型MOSFETの降伏耐圧以下の電圧に制限する。
請求項(抜粋):
半導体基板上に形成された第1のウェル領域および第2のウェル領域と、前記第1のウェル領域に形成された横型MOSFETと、前記第2のウェル領域に形成された縦型サージ吸収素子と、前記横型MOSFETのソース電極またはドレイン電極と前記縦型サージ吸収素子の表面電極とを電気的に接続する金属電極配線と、を具備することを特徴とする半導体装置。
IPC (8件):
H01L 27/06 311
, H01L 27/06
, H01L 21/822
, H01L 21/8222
, H01L 21/8234
, H01L 21/8249
, H01L 27/04
, H01L 29/78
FI (10件):
H01L 27/06 311 C
, H01L 27/06 321 A
, H01L 27/06 102 A
, H01L 27/06 101 U
, H01L 27/06 101 P
, H01L 29/78 301 K
, H01L 29/78 301 D
, H01L 27/04 H
, H01L 27/04 E
, H01L 27/04 F
Fターム (60件):
5F038AR09
, 5F038AV06
, 5F038BH05
, 5F038BH06
, 5F038BH13
, 5F038CA10
, 5F038CA12
, 5F038CD04
, 5F038DF02
, 5F038DF04
, 5F038DF12
, 5F038EZ12
, 5F038EZ13
, 5F038EZ14
, 5F038EZ20
, 5F048AA02
, 5F048AA05
, 5F048AA10
, 5F048AC07
, 5F048BA02
, 5F048BB01
, 5F048BB05
, 5F048BC01
, 5F048BE02
, 5F048BE09
, 5F048BG12
, 5F048CA03
, 5F048CA14
, 5F048CC06
, 5F048CC10
, 5F048CC13
, 5F048CC15
, 5F048CC18
, 5F082AA31
, 5F082BA04
, 5F082BA26
, 5F082BA31
, 5F082BA41
, 5F082BA47
, 5F082BC01
, 5F082BC09
, 5F082BC11
, 5F082DA09
, 5F082FA16
, 5F140AA31
, 5F140AA38
, 5F140AB03
, 5F140AB06
, 5F140AB07
, 5F140AB10
, 5F140AC21
, 5F140BA01
, 5F140BC12
, 5F140BF44
, 5F140BH17
, 5F140CA10
, 5F140CB01
, 5F140CB08
, 5F140DA01
, 5F140DA08
引用特許:
審査官引用 (11件)
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特開平1-166562
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-169135
出願人:日本電装株式会社
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特開平3-234052
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半導体集積回路装置の保護回路
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-073582
出願人:日本電気株式会社
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特開昭61-255053
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特開昭63-081979
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-067528
出願人:株式会社東芝
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-177958
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立マイコンシステム
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半導体装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-276137
出願人:ソニー株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-123891
出願人:株式会社東芝
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特開昭48-066976
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