電子顕微鏡装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 栗原彰 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-182739
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019218
出願日： 2003年06月26日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】CT法を応用することにより試料を切片化することなしに立体構造の解析を可能とし、電子顕微鏡装置に特有の問題を解決して、一般的なケースにおいてCT法の応用が可能である電子顕微鏡装置を提供する【解決手段】試料を一定の角度ごとに傾斜させて得られる一連の透過像からリファレンス画像との二次元相関処理によって同一視野を選択して切り出して試料の位置ずれを補正する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

傾動可能に支持された試料に電子ビームを照射し、試料を透過した電子に基づいて透過電子顕微鏡像を取得すると共に、取得した試料の透過像データに基づいてCT法を実行する信号処理回路を備えた電子顕微鏡装置であって、前記信号処理回路は、試料を一定の角度ごとに傾斜させて得られる一連の透過像から、リファレンス画像との二次元相関処理によって、同一視野を選択して切り出すことにより、試料の位置ずれを補正することを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (3件)：

H01J37/26 , G01N23/04 , H01J37/22

FI (3件)：

H01J37/26 , G01N23/04 , H01J37/22 501A

Fターム (19件)：

2G001AA01 , 2G001AA03 , 2G001AA10 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001FA16 , 2G001FA29 , 2G001GA08 , 2G001GA13 , 2G001HA08 , 2G001HA12 , 2G001HA13 , 2G001JA07 , 2G001JA11 , 2G001PA12 , 2G001PA15 , 2G001QA01 , 5C033SS02 , 5C033SS04

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-337236
電子線装置、電子線装置用データ処理装置、電子線装置のステレオデータ作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-062686 出願人：株式会社トプコン
画像測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-147064 出願人：株式会社トプコン

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