特許
J-GLOBAL ID：200903014530032457
3軸加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
一色国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-185271
公開番号（公開出願番号）：特開2005-017216
出願日： 2003年06月27日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
【課題】容量型の3軸加速度センサにおいて、構成の複雑化あるいは高コスト化の要因となる後処理の負担を軽くするとともに、構成の小形・軽量化を推進しつつ、高感度かつ高精度の検出動作を行わせることを可能にする。【解決手段】可動電極12に対向する固定電極21〜24を2つまたは1つに並列接続するとともに、その並列接続の組み合わせを順次切り替え、各接続状態ごとに並列接続された固定電極の容量変化により、上記可動電極の3次元的位置変位を方向成分別に検出する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
加速度を3軸方向から受けて3次元的位置変位が生じるように懸架された可動電極と、この可動電極を共通の対向電極とするように配置された複数の固定電極とを有し、これらの固定電極に現れる静電容量の変化を測定して上記可動電極の位置変位を3軸の方向成分別に定量検出し、この検出結果を3軸の方向成分別に電圧変換して出力するようにした3軸加速度センサにおいて、次の構成手段(1)〜(6)を備えたことを特徴とする3軸加速度センサ。
(1)XYの2軸方向からの加速度に対してはその2軸方向に傾斜する位置変位を生じ、そのXYの2軸方向と直交するZ軸方向からの加速度に対してはそのZ軸方向に移動する位置変位を生じるように懸架された上記可動電極。
(2)上記可動電極の対向面となる同一平面上にマトリックス状に配置された4つの固定電極。
(3)上記4つの固定電極が上記可動電極に対して形成する静電容量とほぼ等値の容量を持つ参照容量。
(4)第1と第2の2つの入力容量の差を電圧変換して出力する差動型容量検出手段。
(5)上記4つの固定電極をX方向に並ぶ2組に分けて各組ごとにそれぞれ等価的に一つの電極を形成すべく並列接続するとともに、この2組の並列接続電極が上記可動電極に対して形成する2つの静電容量を上記容量検出手段に差動入力させる第1の接続モードと、上記4つの固定電極をY方向に並ぶ2組に分けて各組ごとにそれぞれ等価的に一つの電極を形成すべく並列接続するとともに、この2組の並列接続電極が上記可動電極に対して形成する2つの静電容量を上記容量検出手段に差動入力させる第2の接続モードと、上記4つの固定電極を等価的に一つの電極を形成すべく並列接続するとともに、この並列接続電極が上記可動電極に対して形成する静電容量と上記参照容量を上記容量検出手段に差動入力させる第3の接続モードとを順次スイッチ切り替えする切替手段。
(6)上記容量検出手段の出力電圧を上記第1〜第3の各接続モードごとに個別に保持して出力する電圧保持手段。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/00 K
, G01P15/125 V
